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<MeasureList>
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<MeasureFlow Code="1" Name="拍照">
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+ <Step Index="2" Name="" Code="1-2" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
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+ <Step Index="4" Name="" Code="1-4" IsData="False" Title="保存照片" Details="保存照片"></Step>
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- <Step Index="12" Name="" Code="1-12" IsData="False" Title="验证移动准确性" Tooltip="获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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+ <Step Index="8" Name="" Code="1-8" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
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+ <Step Index="10" Name="" Code="1-10" IsData="True" Title="获取偏移信息" Details="显示照片,获取偏移坐标,以及偏移角度"></Step>
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+ <Step Index="11" Name="" Code="1-11" IsData="False" Title="移动至切孔位置" Details="根据坐标控制SEM移动到切孔位置,居中"></Step>
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+ <Step Index="12" Name="" Code="1-12" IsData="False" Title="验证移动准确性" Details="获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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- <Step Index="13" Name="" Code="1-13" IsData="False" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大倍数"></Step>
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- <Step Index="16" Name="" Code="1-16" IsData="True" Title="拍照" Tooltip="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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- <Step Index="17" Name="" Code="1-17" IsData="False" Title="保存照片" Tooltip="设置图片名称、保存图片"></Step>
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- <Step Index="18" Name="" Code="1-18" IsData="True" Title="获取偏移坐标" Tooltip="将照片传给客户,获取偏移坐标"></Step>
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- <Step Index="19" Name="" Code="1-19" IsData="False" Title="移动至分析位置" Tooltip="根据坐标控制SEM移动到分析位置"></Step>
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- <Step Index="20" Name="" Code="1-20" IsData="False" Title="验证移动准确性" Tooltip="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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+ <Step Index="13" Name="" Code="1-13" IsData="False" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
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+ <Step Index="15" Name="" Code="1-15" IsData="False" Title="角度补偿" Details="设置SEM角度补偿"></Step>
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+ <Step Index="16" Name="" Code="1-16" IsData="True" Title="拍照" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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+ <Step Index="17" Name="" Code="1-17" IsData="False" Title="保存照片" Details="设置图片名称、保存图片"></Step>
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+ <Step Index="18" Name="" Code="1-18" IsData="True" Title="获取偏移坐标" Details="将照片传给客户,获取偏移坐标"></Step>
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+ <Step Index="19" Name="" Code="1-19" IsData="False" Title="移动至分析位置" Details="根据坐标控制SEM移动到分析位置"></Step>
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+ <Step Index="20" Name="" Code="1-20" IsData="False" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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- <Step Index="21" Name="" Code="1-21" IsData="False" Title="平行校正" Tooltip="控制SEM平行校正,并记录校正前初始值"></Step>
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- <Step Index="22" Name="" Code="1-22" IsData="False" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
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- <Step Index="23" Name="" Code="1-23" IsData="True" Title="自动对焦" Tooltip="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
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- <Step Index="24" Name="" Code="1-24" IsData="True" Title="拍照" Tooltip="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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- <Step Index="25" Name="" Code="1-25" IsData="False" Title="保存照片" Tooltip="设置图片名称、保存图片"></Step>
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- <Step Index="26" Name="" Code="1-26" IsData="False" Title="取消电子束校正并初始化" Tooltip="控制SEM取消电子束校正,回到初始值"></Step>
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- <Step Index="27" Name="" Code="1-27" IsData="False" Title="自动能谱分析" Tooltip="确定能谱位置、控制牛津打能谱、能谱分析-面扫+线扫"></Step>
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- <Step Index="28" Name="" Code="1-28" IsData="False" Title="初始化" Tooltip="多切孔进行初始化操作"></Step>
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+ <Step Index="21" Name="" Code="1-21" IsData="False" Title="平行校正" Details="控制SEM平行校正,并记录校正前初始值"></Step>
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+ <Step Index="22" Name="" Code="1-22" IsData="False" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
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+ <Step Index="23" Name="" Code="1-23" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
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+ <Step Index="24" Name="" Code="1-24" IsData="True" Title="拍照" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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+ <Step Index="25" Name="" Code="1-25" IsData="False" Title="保存照片" Details="设置图片名称、保存图片"></Step>
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+ <Step Index="26" Name="" Code="1-26" IsData="False" Title="取消电子束校正并初始化" Details="控制SEM取消电子束校正,回到初始值"></Step>
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+ <Step Index="27" Name="" Code="1-27" IsData="False" Title="自动能谱分析" Details="确定能谱位置、控制牛津打能谱、能谱分析-面扫+线扫"></Step>
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+ <Step Index="28" Name="" Code="1-28" IsData="False" Title="初始化" Details="多切孔进行初始化操作"></Step>
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</MeasureFlow>
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<MeasureFlow Code="2" Name="切割">
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- <Step Index="0" Name="" Code="2-0" IsData="False" Title="移动至切割位置" Tooltip="自动定位切割位置"></Step>
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- <Step Index="1" Name="" Code="2-1" IsData="False" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大倍数"></Step>
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- <Step Index="2" Name="" Code="2-2" IsData="True" Title="自动对焦" Tooltip="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
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- <Step Index="3" Name="" Code="2-3" IsData="False" Title="角度补偿" Tooltip="设置SEM进行角度补偿"></Step>
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- <Step Index="4" Name="" Code="2-4" IsData="True" Title="拍照" Tooltip="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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- <Step Index="5" Name="" Code="2-5" IsData="False" Title="保存照片" Tooltip="保存照片"></Step>
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- <Step Index="6" Name="" Code="2-6" IsData="False" Title="FIB拍照参数" Tooltip="设置FIB拍照参数-扫描时间、束流等"></Step>
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- <Step Index="7" Name="" Code="2-7" IsData="False" Title="FIB设置参数" Tooltip="控制FIB自动亮度、对比度"></Step>
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- <Step Index="8" Name="" Code="2-8" IsData="False" Title="FIB拍照" Tooltip=""></Step>
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- <Step Index="9" Name="" Code="2-9" IsData="False" Title="保存照片" Tooltip="保存照片"></Step>
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- <Step Index="10" Name="" Code="2-10" IsData="True" Title="显示照片" Tooltip="将照片传给客户,返回梯形位置坐标,及样品类型参数"></Step>
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- <Step Index="11" Name="" Code="2-11" IsData="False" Title="FIB调整到中心位置" Tooltip="根据梯形坐标控制FIB调整到中心位置"></Step>
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- <Step Index="12" Name="" Code="2-12" IsData="False" Title="验证移动准确性" Tooltip="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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- <Step Index="13" Name="" Code="2-13" IsData="False" Title="保存信息" Tooltip="保存切孔位置坐标,保存客户返回值信息"></Step>
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+ <Step Index="0" Name="" Code="2-0" IsData="False" Title="移动至切割位置" Details="自动定位切割位置"></Step>
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+ <Step Index="1" Name="" Code="2-1" IsData="False" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
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+ <Step Index="2" Name="" Code="2-2" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
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+ <Step Index="3" Name="" Code="2-3" IsData="False" Title="角度补偿" Details="设置SEM进行角度补偿"></Step>
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+ <Step Index="4" Name="" Code="2-4" IsData="True" Title="拍照" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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+ <Step Index="5" Name="" Code="2-5" IsData="False" Title="保存照片" Details="保存照片"></Step>
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+ <Step Index="6" Name="" Code="2-6" IsData="False" Title="FIB拍照参数" Details="设置FIB拍照参数-扫描时间、束流等"></Step>
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+ <Step Index="7" Name="" Code="2-7" IsData="False" Title="FIB设置参数" Details="控制FIB自动亮度、对比度"></Step>
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+ <Step Index="8" Name="" Code="2-8" IsData="False" Title="FIB拍照" Details=""></Step>
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+ <Step Index="9" Name="" Code="2-9" IsData="False" Title="保存照片" Details="保存照片"></Step>
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+ <Step Index="10" Name="" Code="2-10" IsData="True" Title="显示照片" Details="将照片传给客户,返回梯形位置坐标,及样品类型参数"></Step>
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+ <Step Index="11" Name="" Code="2-11" IsData="False" Title="FIB调整到中心位置" Details="根据梯形坐标控制FIB调整到中心位置"></Step>
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+ <Step Index="12" Name="" Code="2-12" IsData="False" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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+ <Step Index="13" Name="" Code="2-13" IsData="False" Title="保存信息" Details="保存切孔位置坐标,保存客户返回值信息"></Step>
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- <Step Index="14" Name="" Code="2-14" IsData="True" Title="设置FIB参数" Tooltip="根据参数设置FIB扫描时间(使图清晰),设置梯形上下边及深度、设置束流等"></Step>
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- <Step Index="15" Name="" Code="2-15" IsData="False" Title="FIB进行切割" Tooltip="控制FIB进行切割"></Step>
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- <Step Index="16" Name="" Code="2-16" IsData="False" Title="设置FIB放大倍数" Tooltip="控制SEM放大倍数"></Step>
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- <Step Index="17" Name="" Code="2-17" IsData="False" Title="保存照片" Tooltip="保存照片"></Step>
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- <Step Index="18" Name="" Code="2-18" IsData="False" Title="验证移动准确性" Tooltip="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比"></Step><Step Index="13" Name="" Code="2-13" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大倍数"></Step>
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- <Step Index="19" Name="" Code="2-19" IsData="False" Title="设置FIB解冻" Tooltip="设置FIB解冻:先读取状态,如果冻结状态则进行解冻"></Step>
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+ <Step Index="14" Name="" Code="2-14" IsData="True" Title="设置FIB参数" Details="根据参数设置FIB扫描时间(使图清晰),设置梯形上下边及深度、设置束流等"></Step>
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+ <Step Index="15" Name="" Code="2-15" IsData="False" Title="FIB进行切割" Details="控制FIB进行切割"></Step>
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+ <Step Index="16" Name="" Code="2-16" IsData="False" Title="设置FIB放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
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+ <Step Index="17" Name="" Code="2-17" IsData="False" Title="保存照片" Details="保存照片"></Step>
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+ <Step Index="18" Name="" Code="2-18" IsData="False" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比"></Step><Step Index="13" Name="" Code="2-13" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
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+ <Step Index="19" Name="" Code="2-19" IsData="False" Title="设置FIB解冻" Details="设置FIB解冻:先读取状态,如果冻结状态则进行解冻"></Step>
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- <Step Index="20" Name="" Code="2-20" IsData="False" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大倍数"></Step>
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- <Step Index="21" Name="" Code="2-21" IsData="True" Title="自动对焦" Tooltip="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
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- <Step Index="22" Name="" Code="2-22" IsData="True" Title="拍照" Tooltip="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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- <Step Index="24" Name="" Code="2-24" IsData="False" Title="移动到切孔位置" Tooltip="根据坐标控制SEM移动到切孔位置,居中"></Step>
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- <Step Index="25" Name="" Code="2-25" IsData="False" Title="验证移动准确性" Tooltip="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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+ <Step Index="20" Name="" Code="2-20" IsData="False" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
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+ <Step Index="21" Name="" Code="2-21" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
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+ <Step Index="22" Name="" Code="2-22" IsData="True" Title="拍照" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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+ <Step Index="23" Name="" Code="2-23" IsData="True" Title="显示照片" Details="获取偏移坐标,以及偏移角度"></Step>
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+ <Step Index="24" Name="" Code="2-24" IsData="False" Title="移动到切孔位置" Details="根据坐标控制SEM移动到切孔位置,居中"></Step>
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+ <Step Index="25" Name="" Code="2-25" IsData="False" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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- <Step Index="26" Name="" Code="2-26" IsData="False" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
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- <Step Index="27" Name="" Code="2-27" IsData="True" Title="自动对焦" Tooltip="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
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- <Step Index="28" Name="" Code="2-28" IsData="False" Title="角度补偿" Tooltip="设置SEM角度补偿"></Step>
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- <Step Index="29" Name="" Code="2-29" IsData="True" Title="保存照片" Tooltip="设置图片名称、保存图片"></Step>
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- <Step Index="30" Name="" Code="2-30" IsData="True" Title="显示照片" Tooltip="获取偏移坐标"></Step>
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- <Step Index="31" Name="" Code="2-31" IsData="False" Title="移动到分析位置" Tooltip="根据坐标控制SEM移动到分析位置"></Step>
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- <Step Index="32" Name="" Code="2-32" IsData="False" Title="验证移动准确性" Tooltip="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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|
+ <Step Index="26" Name="" Code="2-26" IsData="False" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
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+ <Step Index="27" Name="" Code="2-27" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
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+ <Step Index="28" Name="" Code="2-28" IsData="False" Title="角度补偿" Details="设置SEM角度补偿"></Step>
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+ <Step Index="29" Name="" Code="2-29" IsData="True" Title="保存照片" Details="设置图片名称、保存图片"></Step>
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+ <Step Index="30" Name="" Code="2-30" IsData="True" Title="显示照片" Details="获取偏移坐标"></Step>
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+ <Step Index="31" Name="" Code="2-31" IsData="False" Title="移动到分析位置" Details="根据坐标控制SEM移动到分析位置"></Step>
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+ <Step Index="32" Name="" Code="2-32" IsData="False" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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- <Step Index="33" Name="" Code="2-33" IsData="False" Title="平行校正" Tooltip="控制SEM平行校正,并记录校正前初始值"></Step>
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- <Step Index="34" Name="" Code="2-34" IsData="False" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
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- <Step Index="35" Name="" Code="2-35" IsData="True" Title="自动对焦" Tooltip="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
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- <Step Index="36" Name="" Code="2-36" IsData="True" Title="拍照" Tooltip="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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- <Step Index="37" Name="" Code="2-37" IsData="False" Title="保存照片" Tooltip="设置图片名称、保存图片"></Step>
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|
- <Step Index="38" Name="" Code="2-38" IsData="False" Title="取消电子束校正并初始化" Tooltip="控制SEM取消电子束校正,回到初始值"></Step>
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|
+ <Step Index="33" Name="" Code="2-33" IsData="False" Title="平行校正" Details="控制SEM平行校正,并记录校正前初始值"></Step>
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|
+ <Step Index="34" Name="" Code="2-34" IsData="False" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
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|
+ <Step Index="35" Name="" Code="2-35" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
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|
+ <Step Index="36" Name="" Code="2-36" IsData="True" Title="拍照" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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|
+ <Step Index="37" Name="" Code="2-37" IsData="False" Title="保存照片" Details="设置图片名称、保存图片"></Step>
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|
+ <Step Index="38" Name="" Code="2-38" IsData="False" Title="取消电子束校正并初始化" Details="控制SEM取消电子束校正,回到初始值"></Step>
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|
- <Step Index="39" Name="" Code="2-39" IsData="False" Title="传入参数" Tooltip="获取SEM Pixel Size 给客户传入参数"></Step>
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- <Step Index="40" Name="" Code="2-40" IsData="True" Title="显示照片" Tooltip="将照片传给客户,客户进行层高分析"></Step>
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- <Step Index="41" Name="" Code="2-41" IsData="False" Title="自动能谱分析" Tooltip="确定能谱位置、控制牛津打能谱、能谱分析-面扫+线扫"></Step>
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+ <Step Index="40" Name="" Code="2-40" IsData="True" Title="显示照片" Details="将照片传给客户,客户进行层高分析"></Step>
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+ <Step Index="41" Name="" Code="2-41" IsData="False" Title="自动能谱分析" Details="确定能谱位置、控制牛津打能谱、能谱分析-面扫+线扫"></Step>
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+ <Step Index="42" Name="" Code="2-42" IsData="False" Title="初始化" Details="多切孔进行初始化操作"></Step>
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</MeasureFlow>
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<MeasureFlow Code="3" Name="PT+切割">
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- <Step Index="0" Name="" Code="3-0" IsData="False" Title="PT沉积" Tooltip="自动根据样品类型参数确定是否需要PT沉积"></Step>
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- <Step Index="1" Name="" Code="3-1" IsData="False" Title="移动至切割位置" Tooltip="自动定位切割位置"></Step>
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- <Step Index="2" Name="" Code="3-2" IsData="False" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大倍数"></Step>
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- <Step Index="3" Name="" Code="3-3" IsData="True" Title="自动对焦" Tooltip="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
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- <Step Index="4" Name="" Code="3-4" IsData="False" Title="角度补偿" Tooltip="设置SEM进行角度补偿"></Step>
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- <Step Index="5" Name="" Code="3-5" IsData="True" Title="拍照" Tooltip="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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- <Step Index="6" Name="" Code="3-6" IsData="False" Title="保存照片" Tooltip="保存照片"></Step>
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- <Step Index="7" Name="" Code="3-7" IsData="False" Title="FIB拍照参数" Tooltip="设置FIB拍照参数-扫描时间、束流等"></Step>
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|
- <Step Index="8" Name="" Code="3-8" IsData="False" Title="FIB设置参数" Tooltip="控制FIB自动亮度、对比度"></Step>
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- <Step Index="9" Name="" Code="3-9" IsData="False" Title="FIB拍照" Tooltip=""></Step>
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- <Step Index="10" Name="" Code="3-10" IsData="False" Title="保存照片" Tooltip="保存照片"></Step>
|
|
|
- <Step Index="11" Name="" Code="3-11" IsData="True" Title="显示照片" Tooltip="将照片传给客户,返回梯形位置坐标,及样品类型参数"></Step>
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- <Step Index="12" Name="" Code="3-12" IsData="False" Title="PT沉积" Tooltip="自动根据样品类型参数确定是否需要PT沉积"></Step>
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|
- <Step Index="13" Name="" Code="3-13" IsData="False" Title="FIB调整到中心位置" Tooltip="根据梯形坐标控制FIB调整到中心位置"></Step>
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|
- <Step Index="14" Name="" Code="3-14" IsData="False" Title="验证移动准确性" Tooltip="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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|
- <Step Index="15" Name="" Code="3-15" IsData="False" Title="保存信息" Tooltip="保存切孔位置坐标,保存客户返回值信息"></Step>
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+ <Step Index="0" Name="" Code="3-0" IsData="False" Title="PT沉积" Details="自动根据样品类型参数确定是否需要PT沉积"></Step>
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+ <Step Index="1" Name="" Code="3-1" IsData="False" Title="移动至切割位置" Details="自动定位切割位置"></Step>
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+ <Step Index="2" Name="" Code="3-2" IsData="False" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
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+ <Step Index="3" Name="" Code="3-3" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
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+ <Step Index="4" Name="" Code="3-4" IsData="False" Title="角度补偿" Details="设置SEM进行角度补偿"></Step>
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+ <Step Index="5" Name="" Code="3-5" IsData="True" Title="拍照" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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+ <Step Index="6" Name="" Code="3-6" IsData="False" Title="保存照片" Details="保存照片"></Step>
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|
+ <Step Index="7" Name="" Code="3-7" IsData="False" Title="FIB拍照参数" Details="设置FIB拍照参数-扫描时间、束流等"></Step>
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|
+ <Step Index="8" Name="" Code="3-8" IsData="False" Title="FIB设置参数" Details="控制FIB自动亮度、对比度"></Step>
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|
+ <Step Index="9" Name="" Code="3-9" IsData="False" Title="FIB拍照" Details=""></Step>
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|
+ <Step Index="10" Name="" Code="3-10" IsData="False" Title="保存照片" Details="保存照片"></Step>
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|
|
+ <Step Index="11" Name="" Code="3-11" IsData="True" Title="显示照片" Details="将照片传给客户,返回梯形位置坐标,及样品类型参数"></Step>
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|
+ <Step Index="12" Name="" Code="3-12" IsData="False" Title="PT沉积" Details="自动根据样品类型参数确定是否需要PT沉积"></Step>
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+ <Step Index="13" Name="" Code="3-13" IsData="False" Title="FIB调整到中心位置" Details="根据梯形坐标控制FIB调整到中心位置"></Step>
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|
+ <Step Index="14" Name="" Code="3-14" IsData="False" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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|
+ <Step Index="15" Name="" Code="3-15" IsData="False" Title="保存信息" Details="保存切孔位置坐标,保存客户返回值信息"></Step>
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|
- <Step Index="16" Name="" Code="3-16" IsData="True" Title="设置FIB参数" Tooltip="根据参数设置FIB扫描时间(使图清晰),设置梯形上下边及深度、设置束流等"></Step>
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|
- <Step Index="17" Name="" Code="3-17" IsData="False" Title="FIB进行切割" Tooltip="控制FIB进行切割"></Step>
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- <Step Index="18" Name="" Code="3-18" IsData="False" Title="设置FIB放大倍数" Tooltip="控制SEM放大倍数"></Step>
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- <Step Index="19" Name="" Code="3-19" IsData="False" Title="保存照片" Tooltip="保存照片"></Step>
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- <Step Index="20" Name="" Code="3-20" IsData="False" Title="验证移动准确性" Tooltip="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比"></Step>
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|
- <Step Index="21" Name="" Code="3-21" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大倍数"></Step>
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- <Step Index="22" Name="" Code="3-22" IsData="False" Title="设置FIB解冻" Tooltip="设置FIB解冻:先读取状态,如果冻结状态则进行解冻"></Step>
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|
- <Step Index="23" Name="" Code="3-23" IsData="False" Title="拔出PT针" Tooltip="根据样品类型决定是否撤出PT针"></Step>
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|
+ <Step Index="16" Name="" Code="3-16" IsData="True" Title="设置FIB参数" Details="根据参数设置FIB扫描时间(使图清晰),设置梯形上下边及深度、设置束流等"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="17" Name="" Code="3-17" IsData="False" Title="FIB进行切割" Details="控制FIB进行切割"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="18" Name="" Code="3-18" IsData="False" Title="设置FIB放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
|
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|
+ <Step Index="19" Name="" Code="3-19" IsData="False" Title="保存照片" Details="保存照片"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="20" Name="" Code="3-20" IsData="False" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="21" Name="" Code="3-21" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="22" Name="" Code="3-22" IsData="False" Title="设置FIB解冻" Details="设置FIB解冻:先读取状态,如果冻结状态则进行解冻"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="23" Name="" Code="3-23" IsData="False" Title="拔出PT针" Details="根据样品类型决定是否撤出PT针"></Step>
|
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- <Step Index="24" Name="" Code="3-24" IsData="False" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大倍数"></Step>
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- <Step Index="25" Name="" Code="3-25" IsData="True" Title="自动对焦" Tooltip="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
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- <Step Index="26" Name="" Code="3-26" IsData="True" Title="拍照" Tooltip="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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- <Step Index="27" Name="" Code="3-27" IsData="True" Title="显示照片" Tooltip="获取偏移坐标,以及偏移角度"></Step>
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|
- <Step Index="28" Name="" Code="3-28" IsData="False" Title="移动到切孔位置" Tooltip="根据坐标控制SEM移动到切孔位置,居中"></Step>
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- <Step Index="29" Name="" Code="3-29" IsData="False" Title="验证移动准确性" Tooltip="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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|
|
+ <Step Index="24" Name="" Code="3-24" IsData="False" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
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+ <Step Index="25" Name="" Code="3-25" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
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|
+ <Step Index="26" Name="" Code="3-26" IsData="True" Title="拍照" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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|
+ <Step Index="27" Name="" Code="3-27" IsData="True" Title="显示照片" Details="获取偏移坐标,以及偏移角度"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="28" Name="" Code="3-28" IsData="False" Title="移动到切孔位置" Details="根据坐标控制SEM移动到切孔位置,居中"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="29" Name="" Code="3-29" IsData="False" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
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|
- <Step Index="30" Name="" Code="3-30" IsData="False" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
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- <Step Index="31" Name="" Code="3-31" IsData="True" Title="自动对焦" Tooltip="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
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|
|
- <Step Index="32" Name="" Code="3-32" IsData="False" Title="角度补偿" Tooltip="设置SEM角度补偿"></Step>
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- <Step Index="33" Name="" Code="3-33" IsData="True" Title="保存照片" Tooltip="设置图片名称、保存图片"></Step>
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- <Step Index="34" Name="" Code="3-34" IsData="True" Title="显示照片" Tooltip="获取偏移坐标"></Step>
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- <Step Index="35" Name="" Code="3-35" IsData="False" Title="移动到分析位置" Tooltip="根据坐标控制SEM移动到分析位置"></Step>
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- <Step Index="36" Name="" Code="3-36" IsData="False" Title="验证移动准确性" Tooltip="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="30" Name="" Code="3-30" IsData="False" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
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|
+ <Step Index="31" Name="" Code="3-31" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="32" Name="" Code="3-32" IsData="False" Title="角度补偿" Details="设置SEM角度补偿"></Step>
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|
+ <Step Index="33" Name="" Code="3-33" IsData="True" Title="保存照片" Details="设置图片名称、保存图片"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="34" Name="" Code="3-34" IsData="True" Title="显示照片" Details="获取偏移坐标"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="35" Name="" Code="3-35" IsData="False" Title="移动到分析位置" Details="根据坐标控制SEM移动到分析位置"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="36" Name="" Code="3-36" IsData="False" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
|
|
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|
- <Step Index="37" Name="" Code="3-37" IsData="False" Title="平行校正" Tooltip="控制SEM平行校正,并记录校正前初始值"></Step>
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- <Step Index="38" Name="" Code="3-38" IsData="False" Title="设置放大倍数" Tooltip="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
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- <Step Index="39" Name="" Code="3-39" IsData="True" Title="自动对焦" Tooltip="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
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- <Step Index="40" Name="" Code="3-40" IsData="True" Title="拍照" Tooltip="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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- <Step Index="41" Name="" Code="3-41" IsData="False" Title="保存照片" Tooltip="设置图片名称、保存图片"></Step>
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- <Step Index="42" Name="" Code="3-42" IsData="False" Title="取消电子束校正并初始化" Tooltip="控制SEM取消电子束校正,回到初始值"></Step>
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+ <Step Index="37" Name="" Code="3-37" IsData="False" Title="平行校正" Details="控制SEM平行校正,并记录校正前初始值"></Step>
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+ <Step Index="38" Name="" Code="3-38" IsData="False" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
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+ <Step Index="39" Name="" Code="3-39" IsData="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
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+ <Step Index="40" Name="" Code="3-40" IsData="True" Title="拍照" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
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+ <Step Index="41" Name="" Code="3-41" IsData="False" Title="保存照片" Details="设置图片名称、保存图片"></Step>
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+ <Step Index="42" Name="" Code="3-42" IsData="False" Title="取消电子束校正并初始化" Details="控制SEM取消电子束校正,回到初始值"></Step>
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- <Step Index="43" Name="" Code="3-43" IsData="False" Title="传入参数" Tooltip="获取SEM Pixel Size 给客户传入参数"></Step>
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- <Step Index="44" Name="" Code="3-44" IsData="True" Title="显示照片" Tooltip="将照片传给客户,客户进行层高分析"></Step>
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|
- <Step Index="45" Name="" Code="3-45" IsData="False" Title="自动能谱分析" Tooltip="确定能谱位置、控制牛津打能谱、能谱分析-面扫+线扫"></Step>
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- <Step Index="46" Name="" Code="3-46" IsData="False" Title="初始化" Tooltip="多切孔进行初始化操作"></Step>
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+ <Step Index="43" Name="" Code="3-43" IsData="False" Title="传入参数" Details="获取SEM Pixel Size 给客户传入参数"></Step>
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+ <Step Index="44" Name="" Code="3-44" IsData="True" Title="显示照片" Details="将照片传给客户,客户进行层高分析"></Step>
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|
+ <Step Index="45" Name="" Code="3-45" IsData="False" Title="自动能谱分析" Details="确定能谱位置、控制牛津打能谱、能谱分析-面扫+线扫"></Step>
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+ <Step Index="46" Name="" Code="3-46" IsData="False" Title="初始化" Details="多切孔进行初始化操作"></Step>
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</MeasureFlow>
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</MeasureList>
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