|
@@ -3,51 +3,51 @@
|
|
|
<MeasureFlow Name="测量流程">
|
|
|
<Step Index="0" Name="" Code="1-0" IsData="False" Type="Pt" IsShow="True" Title="PT沉积" Details="自动根据样品类型参数确定是否需要PT沉积"></Step>
|
|
|
<Step Index="1" Name="" Code="1-1" IsData="False" Type="State" IsShow="False" Title="移动至切割位置" Details="自动定位切割位置"></Step>
|
|
|
- <Step Index="2" Name="" Code="1-2" IsData="False" Type="Photo" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
|
|
|
- <Step Index="3" Name="" Code="1-3" IsData="True" Type="Photo" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
|
|
|
- <Step Index="4" Name="" Code="1-4" IsData="False" Type="Photo" Title="角度补偿" Details="设置SEM进行角度补偿"></Step>
|
|
|
- <Step Index="5" Name="" Code="1-5" IsData="True" Type="Photo" Title="拍照保存照片" Details="控制SEM对分析位置拍照保存照片"></Step>
|
|
|
- <Step Index="6" Name="" Code="1-6" IsData="False" Type="FIB" Title="切换到FIB模式" Details="切换到FIB模式"></Step>
|
|
|
- <Step Index="7" Name="" Code="1-7" IsData="True" Type="FIB" Title="FIB拍照保存照片" Details="FIB拍照保存照片"></Step>
|
|
|
- <Step Index="8" Name="" Code="1-8" IsData="True" Type="Stage" Title="样品台移动到指定位置" Details="将照片传给客户,返回梯形位置坐标,及样品类型参数"></Step>
|
|
|
- <Step Index="9" Name="" Code="1-9" IsData="False" Type="Stage" Title="验证移动位置" Details="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
|
|
|
- <Step Index="10" Name="" Code="1-10" IsData="False" Type="Photo" Title="PT沉积" Details="根据配置文件进行PT沉积"></Step>
|
|
|
- <Step Index="11" Name="" Code="1-11" IsData="True" Type="Position" Title="保存六轴坐标" Details="将六轴坐标保存到数据库中"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="2" Name="" Code="1-2" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="3" Name="" Code="1-3" IsData="True" Type="Photo" IsShow="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="4" Name="" Code="1-4" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="角度补偿" Details="设置SEM进行角度补偿"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="5" Name="" Code="1-5" IsData="True" Type="Photo" IsShow="True" Title="拍照保存照片" Details="控制SEM对分析位置拍照保存照片"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="6" Name="" Code="1-6" IsData="False" Type="FIB" IsShow="True" Title="切换到FIB模式" Details="切换到FIB模式"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="7" Name="" Code="1-7" IsData="True" Type="FIB" IsShow="True" Title="FIB拍照保存照片" Details="FIB拍照保存照片"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="8" Name="" Code="1-8" IsData="True" Type="Stage" IsShow="True" Title="样品台移动到指定位置" Details="将照片传给客户,返回梯形位置坐标,及样品类型参数"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="9" Name="" Code="1-9" IsData="False" Type="Stage" IsShow="True" Title="验证移动位置" Details="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="10" Name="" Code="1-10" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="PT沉积" Details="根据配置文件进行PT沉积"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="11" Name="" Code="1-11" IsData="True" Type="Position" IsShow="True" Title="保存六轴坐标" Details="将六轴坐标保存到数据库中"></Step>
|
|
|
|
|
|
- <Step Index="12" Name="" Code="1-12" IsData="False" Type="FIB" Title="FIB进行切割" Details="控制FIB进行切割"></Step>
|
|
|
- <Step Index="13" Name="" Code="1-13" IsData="False" Type="FIB" Title="设置FIB放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
|
|
|
- <Step Index="14" Name="" Code="1-14" IsData="False" Type="Photo" Title="保存照片" Details="保存照片"></Step>
|
|
|
- <Step Index="15" Name="" Code="1-15" IsData="False" Type="Photo" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比"></Step>
|
|
|
- <Step Index="16" Name="" Code="1-16" IsData="False" Type="State" Title="FIB切割状态" Details="FIB切割成功或失败"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="12" Name="" Code="1-12" IsData="False" Type="FIB" IsShow="True" Title="FIB进行切割" Details="控制FIB进行切割"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="13" Name="" Code="1-13" IsData="False" Type="FIB" IsShow="True" Title="设置FIB放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="14" Name="" Code="1-14" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="保存照片" Details="保存照片"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="15" Name="" Code="1-15" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前FIB中心位置坐标,与客户返回坐标对比"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="16" Name="" Code="1-16" IsData="False" Type="State" IsShow="True" Title="FIB切割状态" Details="FIB切割成功或失败"></Step>
|
|
|
|
|
|
- <Step Index="17" Name="" Code="1-17" IsData="False" Type="Pt" Title="拔出PT针" Details="根据样品类型决定是否撤出PT针"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="17" Name="" Code="1-17" IsData="False" Type="Pt" IsShow="True" Title="拔出PT针" Details="根据样品类型决定是否撤出PT针"></Step>
|
|
|
|
|
|
- <Step Index="18" Name="" Code="1-18" IsData="False" Type="Photo" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
|
|
|
- <Step Index="19" Name="" Code="1-19" IsData="True" Type="Photo" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
|
|
|
- <Step Index="20" Name="" Code="1-20" IsData="True" Type="Photo" Title="拍照显示照片" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
|
|
|
- <Step Index="21" Name="" Code="1-21" IsData="False" Type="Photo" Title="移动到切孔位置" Details="根据坐标控制SEM移动到切孔位置,居中"></Step>
|
|
|
- <Step Index="22" Name="" Code="1-22" IsData="False" Type="Photo" Title="调整角度" Details="调整角度"></Step>
|
|
|
- <Step Index="23" Name="" Code="1-23" IsData="False" Type="Photo" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
|
|
|
- <Step Index="24" Name="" Code="1-24" IsData="False" Type="State" Title="自动调整SEM找切割位置" Details="自动调整SEM找切割位置"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="18" Name="" Code="1-18" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大倍数"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="19" Name="" Code="1-19" IsData="True" Type="Photo" IsShow="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、亮度、对比度"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="20" Name="" Code="1-20" IsData="True" Type="Photo" IsShow="True" Title="拍照显示照片" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="21" Name="" Code="1-21" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="移动到切孔位置" Details="根据坐标控制SEM移动到切孔位置,居中"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="22" Name="" Code="1-22" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="调整角度" Details="调整角度"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="23" Name="" Code="1-23" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="24" Name="" Code="1-24" IsData="False" Type="State" IsShow="True" Title="自动调整SEM找切割位置" Details="自动调整SEM找切割位置"></Step>
|
|
|
|
|
|
- <Step Index="25" Name="" Code="1-25" IsData="False" Type="Photo" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
|
|
|
- <Step Index="26" Name="" Code="1-26" IsData="True" Type="Photo" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
|
|
|
- <Step Index="27" Name="" Code="1-27" IsData="False" Type="Photo" Title="角度补偿" Details="设置SEM角度补偿"></Step>
|
|
|
- <Step Index="28" Name="" Code="1-28" IsData="True" Type="Photo" Title="保存照片" Details="设置图片名称、保存图片"></Step>
|
|
|
- <Step Index="29" Name="" Code="1-29" IsData="True" Type="Photo" Title="获取坐标并移动到对应位置" Details="获取坐标并移动到对应位置"></Step>
|
|
|
- <Step Index="35" Name="" Code="1-35" IsData="False" Type="Photo" Title="移动到分析位置" Details="根据坐标控制SEM移动到分析位置"></Step>
|
|
|
- <Step Index="36" Name="" Code="1-36" IsData="False" Type="Photo" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="25" Name="" Code="1-25" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="26" Name="" Code="1-26" IsData="True" Type="Photo" IsShow="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="27" Name="" Code="1-27" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="角度补偿" Details="设置SEM角度补偿"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="28" Name="" Code="1-28" IsData="True" Type="Photo" IsShow="True" Title="保存照片" Details="设置图片名称、保存图片"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="29" Name="" Code="1-29" IsData="True" Type="Photo" IsShow="True" Title="获取坐标并移动到对应位置" Details="获取坐标并移动到对应位置"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="35" Name="" Code="1-35" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="移动到分析位置" Details="根据坐标控制SEM移动到分析位置"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="36" Name="" Code="1-36" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="验证移动准确性" Details="验证移动准确性:获取当前SEM中心位置坐标,与客户返回坐标对比,验证是否移动正确"></Step>
|
|
|
|
|
|
- <Step Index="37" Name="" Code="1-37" IsData="False" Type="Photo" Title="平行校正" Details="控制SEM平行校正,并记录校正前初始值"></Step>
|
|
|
- <Step Index="38" Name="" Code="1-38" IsData="False" Type="Photo" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
|
|
|
- <Step Index="39" Name="" Code="1-39" IsData="True" Type="Photo" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
|
|
|
- <Step Index="40" Name="" Code="1-40" IsData="True" Type="Photo" Title="拍照" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
|
|
|
- <Step Index="41" Name="" Code="1-41" IsData="False" Type="Photo" Title="保存照片" Details="设置图片名称、保存图片"></Step>
|
|
|
- <Step Index="42" Name="" Code="1-42" IsData="False" Type="Photo" Title="取消电子束校正并初始化" Details="控制SEM取消电子束校正,回到初始值"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="37" Name="" Code="1-37" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="平行校正" Details="控制SEM平行校正,并记录校正前初始值"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="38" Name="" Code="1-38" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="设置放大倍数" Details="控制SEM放大到指定参数大小范围"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="39" Name="" Code="1-39" IsData="True" Type="Photo" IsShow="True" Title="自动对焦" Details="控制SEM自动对焦、消像散、亮度、对比度"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="40" Name="" Code="1-40" IsData="True" Type="Photo" IsShow="True" Title="拍照" Details="控制SEM对分析位置拍照"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="41" Name="" Code="1-41" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="保存照片" Details="设置图片名称、保存图片"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="42" Name="" Code="1-42" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="取消电子束校正并初始化" Details="控制SEM取消电子束校正,回到初始值"></Step>
|
|
|
|
|
|
- <Step Index="43" Name="" Code="1-43" IsData="False" Type="Photo" Title="传入参数" Details="获取SEM Pixel Size 给客户传入参数"></Step>
|
|
|
- <Step Index="44" Name="" Code="1-44" IsData="True" Type="Photo" Title="显示照片" Details="将照片传给客户,客户进行层高分析"></Step>
|
|
|
- <Step Index="45" Name="" Code="1-45" IsData="False" Type="Photo" Title="自动能谱分析" Details="确定能谱位置、控制牛津打能谱、能谱分析-面扫+线扫"></Step>
|
|
|
- <Step Index="46" Name="" Code="1-46" IsData="False" Type="Photo" Title="初始化" Details="多切孔进行初始化操作"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="43" Name="" Code="1-43" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="传入参数" Details="获取SEM Pixel Size 给客户传入参数"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="44" Name="" Code="1-44" IsData="True" Type="Photo" IsShow="True" Title="显示照片" Details="将照片传给客户,客户进行层高分析"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="45" Name="" Code="1-45" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="自动能谱分析" Details="确定能谱位置、控制牛津打能谱、能谱分析-面扫+线扫"></Step>
|
|
|
+ <Step Index="46" Name="" Code="1-46" IsData="False" Type="Photo" IsShow="True" Title="初始化" Details="多切孔进行初始化操作"></Step>
|
|
|
</MeasureFlow>
|
|
|
</MeasureList>
|